凯世通启用新研发制造基地为关键装备离子注入机产业化凝“芯”聚力

作者：爱集微

2023-05-08

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集微网报道 5月8日，上海凯世通半导体股份有限公司（以下简称“凯世通”）新研发制造基地的通电暨启用仪式在上海浦东金桥隆重举行，掀开凯世通科技创新高质量发展的新篇章。凯世通母公司控股股东上海浦东科技投资有限公司董事长朱旭东博士、母公司上海万业企业股份有限公司总经理刘荣明先生、以及凯世通公司董事长李勇军博士等高管和技术骨干齐聚一堂，共同见证凯世通新基地正式启用的高光时刻！

图：新基地启动仪式

奋力谱写半导体设备新篇章

凯世通是国内首家集成电路离子注入机大束流和高能离子注入机获得验证验收的设备企业，公司多年对行业持续深耕，产品开拓已覆盖逻辑、存储、功率等多个应用领域方向，拥有高能离子注入、超低温离子注入设备等核心关键机型。时至今日，凯世通再一次迎来新的发展里程碑——金桥新研发制造基地正式启用。

作为凯世通最新落成的产业化中心，金桥新研发制造基地无尘车间与办公总面积超过4400平米，涵盖技术研发、CIP改进、零部件组装、生产制造、工艺验证、客户培训等功能，将大幅扩容凯世通离子注入机现有设备的产能容量，并可向客户及合作伙伴提供低能大束流、超低温低能大束流、重金属低能大束流、高能离子注入机等全系列产品的评估，缩短从技术验证到客户导入的时间。

凯世通董事长李勇军表示，该新基地的启用也是凯世通增强关键装备离子注入机研发与产业化能力重要举措之一，旨在提升研发、客服、产能保障等全方位能力，助力国产高端集成电路装备高质量发展。“新基地启用后，凯世通全面快速深度响应客户需求能力将大幅提升，我们将全力以赴，与客户同频共振、并肩战斗，推动客户降本增效、创新发展、产能提升”，李勇军博士说道。

借由凯世通金桥新基地启用的契机，万业企业总经理刘荣明表示，“今天是一个新的起点和开端，希望凯世通抓住机遇、顺势而上，为中国集成电路的发展作出自己应有的贡献”。

助力国产半导体产业稳健增长

一直以来，凯世通保持着强劲的发展势能，公司近日在新市场开拓方面频传捷报。据悉，凯世通从2022年至今已取得多家12英寸集成电路制造厂主流客户的离子注入机采购订单，累计设备订单超8.5亿元。目前，凯世通研发的28nm工艺节点的低能大束流、低能大束流重金属离子注入机、低能大束流超低温离子注入机和高能离子注入机均顺利实现商业化，且持续领跑国产低能大束流和高能离子注入机系列产品的产业化。

图：凯世通金桥新基地

为进一步夯实随需迭代、升维产品核心竞争力，凯世通在深化自研创新能力和建设专业技术人才队伍方面不断努力。2022年以来，凯世通不断引进多位业界知名大厂的资深离子注入专家,增强了真空机械设计、高压电气、控制软件、等离子体物理、工艺应用等多个技术方向的研发实力，并建立了完备的核心技术体系和知识产权保护。此外，凯世通长期坚持以客户为中心，已在上海张江、上海临港、北京亦庄和安徽合肥等地建立了研发与客户服务中心，以客户为导向打造全“芯”服务能力。

伴随着金桥新研发制造基地的启用，凯世通至此也迈上全新的快车道。展望未来，凯世通表示将加快研发生产实力迈向新高度，夯实产业集群协同优势，为中国半导体技术发展砥砺前行！

（校对/赵月）